益处
- 测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）
- 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
- 皮拉尼联锁保护灯丝，防止过早烧毁
- 两根使用寿命长的氧化钇铱丝
- 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
- 易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性
- RoHS 合规
典型应用
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制
新闻
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规格
| 类型 | BPG402-S | |
| 测量范围（空气、O2、CO、N2） | 5×10-10 … 1000 | |
| 精度 |
| |
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
| 可重复性 |
| |
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
| 除气 (1) |
| |
| p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
| 压力，更大 | bar (absolute) | 2 |
| 温度 |
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| 运行（环境） | °C | 0 … +50 |
| 贮存 | °C | -20 … +70 |
| 在法兰处烘烤，无电子设备 BPG402-S | °C | 80 |
| 无电子设备，在法兰处烘烤 BPG402-SL | °C | 150 |
| 电源电压 | +20 … +28 | |
| 输出信号模拟 |
| |
| 输出信号 | V | 0 … +10 |
| 测量范围 | V | +0.774 … +10 |
| 电压与压强 | volts per decade | 0.75 |
| 错误信号 | V | 0.1 / 0.3 / 0.5 |
| 更小负载电阻 | kΩ | 10 |
| 设定点继电器 |
| |
| 设定点数量 | 1 | |
| 范围 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 滞后 | % of reading | 10 |
| 触点额定值 | ≤30 | |
| 数字功能 | degas | |
| 接口（数字）(2) | RS232C | |
| 发射控制 | automatic / manual via interface | |
| 单丝 | two Yt2O2 coated Ir | |
| 单丝状态/继电器 | LED / relay | |
| 电气连接 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 电缆长度，更大 (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 内部容积 KF / CF | cm3 (in.3) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
| 重量 KF / CF | g | 450 / 710 |
| 保护等级 | IP30 | |
| Profibus DP |
| |
| 波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
| 地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 设定点继电器： 设定点数量 | 2 | |
| 设定点继电器： 范围 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 设定点继电器： 滞后 | % of reading | 10 |
| 设定点继电器： 触点额定值 | ≤30 | |
| Profibus DP 连接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
| CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| DeviceNet™ |
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| 协议 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 技术规格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
| 设备类型 | ''CG'' for combination gauge | |
| I / O 从属传讯 | polling only | |
| 设定点继电器： 设定点数量 | 2 | |
| 设定点继电器： 范围 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 设定点继电器： 滞后 | % of reading | 10 |
| 设定点继电器： 触点额定值 | ≤30 | |
| DeviceNet™ 电源电压 | +11 … +25 | |
| 真空计电源电压 | +20 … +28 | |
| DeviceNet™ 连接器 | Microstyle, 5-pin | |
| BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
1) 除气期间降低精度
2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允许使用现场总线
3) 适用于 RS232C 运行 <30m
