益处
- HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统安装与设置的复杂性
- 高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1×10-5 … 1 毫巴范围内的压力，进而改善过程控制
- 用户可选的热离子发射在 5×10-2 至 1 毫巴之间启动
- 皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
- 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
- RoHS 合规
典型应用
- 半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用
- 工业镀膜
- 低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
类型
HPG400
测量范围（空气，N2）
2×10-6 … 1000
精度
10-5 … 1 毫巴
% of reading
±15 (1)
可重复性
10-5 … 10-1 毫巴
% of reading
2
10-1 … 100 毫巴
% of reading
30
热离子发射，可选：
选购件 1
mbar
1
选购件 2
mbar
5×10-1
选购件 3
mbar
2×10-1
选购件 4
mbar
1×10-1
选购件 5
mbar
5×10-2
压力，更大
bar (absolute)
2
温度
运行（环境）
°C
0 … +50
贮存
°C
-20 … +70
在法兰处烘烤
°C
80
移除烘烤电子设备
°C
150
电源电压
20 … 28
输出信号模拟
输出信号
V
0 … +10.2
测量范围热阴极
V
1.5 … 7.5
测量范围皮拉尼
V
8.5 … 9.75
电压比压强热阴极
volts per decade
1
电压与压强皮拉尼
volts per decade
0.25
错误信号热阴极
V
0.3
错误信号皮拉尼
V
0.5
更小负载电阻
kΩ
10
接口（数字）(2)
RS232C
电气连接
D-Sub, 15-pin, male
电缆长度，更大 (3)
m (ft.)
100 (330)
暴露于真空的材料
Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF
cm3 (in.3)
20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CF
g
430 / 695
保护等级
IP30
DeviceNet™
协议
DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关
kBaud
125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps
m (ft.)
500 (1650)
电缆长度 250 kbps
m (ft.)
250 (825)
电缆长度 500 kbps
m (ft.)
100 (330)
MAC ID
2 switches (address 00 - 63) or network programmable
网络规模
up to 64 nodes per segment
数字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可视通信指示器
LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技术规格
DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型
''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯
polling only
设定点继电器： 设定点数量
2
设定点继电器： 范围
mbar
2×10-6 … 100
设定点继电器： 继电器触点
n.o., potential free
设定点继电器： 滞后
% of reading
10
设定点继电器： 触点额定值
60
DeviceNet™ 电源电压
11 … 25
真空计电源电压
V (dc)
20 … 28
DeviceNet™ 连接器
Microstyle, 5-pin
HPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器
D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址
2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器： 设定点数量
2
设定点继电器： 范围
mbar
2×10-6 … 100
设定点继电器： 继电器触点
n.o., potential free
设定点继电器： 滞后
% of reading
10
设定点继电器： 触点额定值
60
Profibus DP 连接器
D-Sub, 9-pin, female
HPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器
D-Sub, 15-pin, male
(1) 精度从 10-5 毫巴至所选热离子排放值
(2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允许使用现场总线
(3) 适用于 RS232C 运行 <30m
