益处
- 设计紧凑，节省宝贵的工具空间
- 易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
- 轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
- 诊断端口用于快速维修和维护
- 两年保修服务，优良的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- 优良的信号稳定性和可重复性
- 合规性与标准：CE
典型应用
- 用于 CVD、刻蚀、PVD 和其他半导体制造过程
规格
类型
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
精度 (1)
% of reading
0.15
0.15
温度效应
零点
percent FS/°C
0.0025
0.0025
满量程
% of reading / °C
0.01
0.01
压力，更大
kPa (absolute)
400
260
分辨率
percent FS
0.003
0.003
更低读数
percent FS
0.01
0.01
建议的更低读数
percent FS
0.05
0.05
建议的更低控制压力
percent FS
0.5
0.5
温度
运行（环境）
°C
+10 … +40
+10 … +40
在法兰处烘烤
°C
≤110
≤110
贮存
°C
–20 … +65
–20 … +65
电源电压
+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加热时
W
≤12
≤12
运行温度
W
≤8
≤8
输出信号（模拟）
V (dc)
0 … +10
0 … +10
反应时间 (2)
ms
30
30
保护等级
IP 40
IP 40
标准
CE 合规
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证
UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规
SEMI S2
SEMI S2
电气连接
D-sub, 15 pole, male
D-sub, 15 pole, male
设定点
设定点数量
2 (SP1,SP2)
2 (SP1,SP2)
继电器触点
≤30
≤30
滞后
percent FS
1
1
诊断端口
协议
RS232-C
RS232-C
读数
pressure, status, ID
pressure, status, ID
设置
set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
内部容积
内部容积 1/2'' 管
cm3 (in.3)
4.2 (0.26)
4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KF
cm3 (in.3)
4.2 (0.26)
4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-R
cm3 (in.3)
4.2 (0.26)
4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR®
cm3 (in.3)
4.2 (0.26)
4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管
g
837
837
重量 DN 16 ISO KF
g
852
852
重量 DN 16 CF-R
g
875
875
重量 8 VCR®
g
897
897
EtherCAT
协议 EtherCAT
protocol specialized for EtherCAT
protocol specialized for EtherCAT
通讯标准
ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
数据率
Kbps
100000
100000
节点地址
Explicit Device Identification
Explicit Device Identification
物理层
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取
pressure, status, ID
pressure, status, ID
数字功能设置
set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
过程数据
Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE)
SDO requests, responses and information
SDO requests, responses and information
EtherCAT 连接器
RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆
shielded Ethernet CAT5e or higher
shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度
m (ft.)
≤100 (330)
≤100 (330)
(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复，运行 2 小时后不产生温度效应。
(2) 增加 10 … 90 % FS
(3) 仅适用于压力控制类型
(4) 18% 铬，10% 镍，3% 钼，69% 铁
