益处
- 测量范围广，从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
- 全金属冷阴极传感器（潘宁），带陶瓷馈入装置
- 创新的电极几何形状提供优良的点火属性
- 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险，即使在有氩气的溅射运行中
- 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
- 极小化真空计附近的磁场强度
- 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
- 对数模拟输出信号
- 现场总线接口（Profibus DP、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
典型应用
- 高真空压力监控
- 蒸发溅射系统
- 高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
类型
PEG100
测量范围
1 x 10-9 to 1 x 10-2
精度
10-8 至 10-4 毫巴
% of reading
±30
压力，更大（**）
bar
10
温度
运行（环境）
°C
+10 to +50
贮存
°C
-20 to +75
无电子设备，烘烤
°C
350
带电子元件，在法兰处烘烤
°C
70
供应
电压
V (dc)
14.5 to 36
消耗，更大
W
<2
输出信号模拟
输出信号
V
0 to 10.6
测量范围
V
0.66 to 10
电压与压强之间的关系
volts per decade
1.333
连接器
FCC 68, female, 8 pin (shielded)
电缆长度，更大（模拟）
m (ft.)
100 (330)
暴露于真空的材料
Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
内部容积
cm3 (in.3)
21 (1.28)
重量，接近
g
500
保护类型
IP40
DeviceNet™
设备类型
generic
显示对等网络传讯
no
I / O 对等传讯
no
配置一致性值
no
默认节点恢复
no
波特率
kBaud
125 / 250 / 500
主板 / 扫描器
no
I / O 从属传讯： 位触发
yes
I / O 从属传讯： 轮询
yes
I / O 从属传讯： 周期
yes
I / O 从属传讯： 状态改变 (COS)
yes
DeviceNet™ 电源
V (dc)
11 to 25
DeviceNet™ 连接器
Phoenix Combicon, 5 pin
Profibus DP
支持的波特率（自动检测）
kBaud
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500
扩展的用户参数数据
byte
5
配置： 输入输出数据数量
2
同步模式和冻结模式
Yes
Profibus 的连接器
D-sub, 9 pin
