益处
- 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
- 测量范围广，从 5 x 10-9 毫巴到大气压
- 不会出现单丝烧毁的现象
- 的点火属性
- 易于清洁
- FPM 或金属密封馈入装置
- 高压 LED 指示灯
- 对数模拟输出信号
典型应用
- 高真空压力监控
- 蒸发系统和溅射系统的基本压力
- 中高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
类型
MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
测量范围（空气，N2）
5 x 10-9 … 1000
5 x 10-9 … 1000
精度 (N2)
1 x 10-8 … 100 毫巴
% of reading
≈±30%
≈±30%
可重复性
1 x 10-8 … 100 毫巴
% of reading
≈±5%
≈±5%
安装定位
any
any
容许压力
bar (absolute)
≤10 (limited to inert gases)
≤10 (limited to inert gases)
容许温度
运行（环境）
°C
+5 … +55
+5 … +55
贮存
°C
–40 … +65
–40 … +65
烘烤 (1)
°C
150
150
单丝温度（皮拉尼）
°C
120
120
电源电压
真空计上
V (dc)
+15 … +30
+15 … +30
缆线更长的电源装置 (2)
V (dc)
+16 … +30
+16 … +30
波纹
V (p-p)
≤1
≤1
功耗
W
≤2
≤2
可连接的保险丝
AT
≤1
≤1
输出信号（测量信号）
电压范围
V
0 … +10.5
0 … +10.5
测量范围
V
+1.82 … +8.6
+1.82 … +8.6
电压与压强
logarithmic, 0.6 volts per decade
logarithmic, 0.6 volts per decade
错误信号
无电源
V
<0.5
<0.5
皮拉尼传感器，单丝断裂
V
>9.5
>9.5
输出电阻
Ω
2 x 10
2 x 10
更小负载电阻
kΩ
10, short-circuit proof
10, short-circuit proof
反应时间
p > 10-6 毫巴
ms
<10
<10
p = 10-8 毫巴
ms
≈1000
≈1000
识别真空计
85, referenced to supply common
85, referenced to supply common
状态
仅皮拉尼模式
V
0 (low)
0 (low)
复合皮拉尼 / 冷阴极模式
V
15 … 30 (high)
15 … 30 (high)
LED
LED green
high voltage on
high voltage on
电气连接
FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
传感器电缆
8 poles plus shielding
8 poles plus shielding
电缆长度
m
≤50 (8 x 0.14 mm2)
≤50 (8 x 0.14 mm2)
运行电压
kV
≤3.3
≤3.3
运行电流
μA
≤500
≤500
暴露于真空的材料
stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
内部容积
cm3
≈20
≈20
重量
DN 25 ISO-KF
g
≈700
≈730
DN 40 ISO-KF
g
≈720
≈750
DN 40 CF-F
g
≈980
≈1010
保护类别
IP 40
IP 40
标准
CE 合规
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1
1) 没有电子和磁遮蔽。
2) 必须根据传感器电缆的长度按比例增加电源的**低电压。
