HGL系列晶圆
激光隐形切割设备
HGL Series
概述
凭借自身丰富的自动化设备研制经验,以及潜心研发的激光加工技术和对半导体材料特性的掌握,通用智能在国内研制出打破国际垄断的HGL系列先进半导体晶圆激光隐形切割装备。经过国家机构评审,确定其“综合性能达到水平,其中部分性能处于地位”。
产品系列
1
单焦点隐形切割设备
双焦点隐形切割设备
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PRODUCTS
单焦点
晶圆激光隐形切割设备
适合晶圆
4吋~8吋
晶圆厚度
3μm~1000μm
焦点数量
1个
HGL1341系列
大尺寸单焦点
晶圆激光隐形切割设备
适合晶圆
4吋~12吋
晶圆厚度
3μm~1000μm
焦点数量
1个
HGL1351系列
适合材料
应用产业
单焦点隐形切割设备
单焦点切割
可自由控制激光聚焦点的深度
可自由控制聚焦点的长度
多焦点
晶圆激光隐形切割设备
适合晶圆
4吋~8吋
晶圆厚度
3μm~1000μm
焦点数量
1.2.3.4个
HGL3341系列
多焦点大尺寸
晶圆激光隐形切割设备
适合晶圆
4吋~12吋
晶圆厚度
3μm~1000μm
焦点数量
1.2.3.4个
HGL3351系列
适合材料
应用产业
多焦点隐形切割设备
泛用型双焦点
大尺寸晶圆激光隐形切割设备
适合晶圆
4吋~12吋
晶圆厚度
3μm~1000μm
焦点数量
HGL1352系列
2个
适合材料
应用产业
双焦点隐形切割设备
双焦点切割
可自由控制激光聚焦点的深度
可自由控制聚焦点的长度
可自由控制两个焦点之间的水平间隔
产品优势
PRODUCTS ADVANTAGES
01
激光控制核心
掌握各种半导体及陶瓷材料激光隐形切割频谱及激光输出及控制技术等核心技术
02
高效光路控制
聚焦精度高
光路稳定可靠
满足高速切割需求
03
实时监控
全景视觉实时监控
低倍视觉实时监控
中倍视觉实时监控
高倍视觉实时监控
04
智能纠偏,
保障的切割路径精度
05
龙门气浮控制
(见各型产品详情)
高精度大跨度龙门气浮运动机构
保障加工质量的同时保障生产效率
跨度
500mm
1.5G
加速度
更多优势技术
更多设备
晶圆扩晶设备
晶圆覆膜设备
晶圆胶带解胶设备