全套机组由罗茨泵、旋片泵、管道、阀门、电控箱等组成。其极限压力可达5.0＊ 10-2Pa 高真空油扩散泵机组是以高真空油扩散泵为主泵的一套完整的抽气系统，扩散泵采用五级拉伸技术，泵的极限压力5.0＊ 10-5Pa，返油率低，抽速大，高真空机组极限压力可达3.0＊ 10-4Pa。
高真空油扩散泵机组被广泛的应用于电子、冶金、化工、原子能工程及空间模拟等领域。
高真空油扩散泵性能指标：
型 号 极限压Pa 抽速L/s 主泵加热功率(kW)
KT-200 8.0×10-5 2000 1.8
KT-300 8.0×10-5 4500 3
KT-320 5.5×10-5 5000 4
KT-400 5.5×10-5 8000 4.5
KT-500 5.5×10-5 12500 6.9
KT-600 5.5×10-5 18000 8.4
KT-800 5.5×10-5 28000 16
KT-1000 5.5×10-5 40000 24
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