控制面板 | l 蒸汽压力、ALD以及气体流量参数均可通过一6英寸接触屏由PLC进行控制
l 两个ALD进气阀
l 一个精密的4通道质子流量计系统
l 请点击下图查看控制面板(点击图片查看详细资料) |
ALD进气阀 | 两个ALD脉冲电磁阀(最小可在10ms完成阀门的开启或关闭) |
精密液体气相发生器 | 精密液体气相发生器包含在本系统中并且连接到ALD进气阀 |
旋转管式炉 | l 连续工作的温度为1100℃
l 两个温区由两个独立的温控系统来控制,而且都为PID30段程序化控温
l 输入电压:208-240V AC,单向
l 功率为4KW
l 炉管旋转速度:0-10rpm
l 回转炉炉管结构如下图所示: |
真空计 | 公司具有多种真空机可供选(点击下图链接) |
真空泵(选配) | 公司具有多种真空泵可供选配(点击下图链接) |
更多可选配件 | l 可选购气液混合装置,用于CVD系统(图1.2)
l 可选购恒温控制模块(图3)
l 可选购金石英测试晶体(图4)以及热电偶用于薄膜厚度以及温度的测试 |
质保期 | 一年保质期,终身维护(不包含炉管,加热元件和密封圈) |
质量认证 | 如您另付费用,我们可保证单台仪器通过TUV(UL61010)或CSA认证 |
注意事项 | l 炉管内气压不可高于0.02MPa
l 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
l 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
l 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
l 点击此处了解如何选择本公司石英/陶瓷管以及管式炉真空法兰 |
相关应用 | 可利用ALD系统显著降低石榴石结构固态电解质与电极之间的高的固固界面阻抗,相关文献:Negating interfacial impedance in garnet-based solid-state Li metal batteries |
合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是合肥物质科学研究院的下属企业。(更多内容请点击“企业展示中心”) 公司目前主要从事氧化物晶体(A-Z)系列材料研发生产、溅射靶材制备和材料实验室及电池研发全套设备。公司从成立之初研发高温超导薄膜基片大尺寸LaAlO3单晶做起,目前MgAlO4、NdGaO3、LSAT、3英寸LaAlO3等晶体是行业供应商。设备研发的各种高温炉,大尺寸高温高压炉,热等静压炉,单晶生长炉等,用于石墨烯、高通量、蒸发镀膜、高温超导薄膜、超导块材和线材的制备设备,涉及新能源材料,电池制备等成套设备,并为科研工作者提供材料研究解决方案,已经成为企业。(更多内容请点击“根据应用寻找设备”) 公司先后被认定为国家“企业”,安徽省企业技术中心,安徽省“专精特新”企业,合肥市工业设计中心等荣誉称号;公司材料实验室被认定为安徽省光电晶体材料装备技术工程研究中心。产品远销美国斯坦福、麻省理工学院、哈佛大学、英国牛津大学,新加坡国立大学等世界所有高校、苹果、惠普、巴斯夫、特斯拉等国际公司,以及国内985、211高校、中科院物理所、核能所等高校科研院所也是我公司忠实用户。(更多内容请点击“客户案例”) 公司自成立以来,十分重视科技创新和产学研合作工作,尤其是把“纳天锡人士,铸科晶伟业”作为重要工作来抓,董事长江晓平博士亲自带领一支高素质和强大创造力的高水平人才团队,并与合肥物质科学研究院等高校科研院开展紧密的产学研合作,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展作出贡献。科晶设备公司自2002年涉足材料制备研发设备,十多年来不断追求产品品质,力求精益求精。从混料球磨、压片成形、高温烧结到样品切割、磨抛成相,再到薄膜制备和电池制备,公司不断研发制造用于材料制备的全套解决方案,全面满足各领域产品制备需求,努力为客户打造一站购齐式服务体验。科晶晶体与材料1997年公司成立之初,主要研发生产超导基片。经过二十三年的发展,目前自主研发的MgAlO4、NdGaO3、LSAT、3英寸LaAlO3等晶体是世界供应商。从晶体到靶材、薄膜,再到蒸发料、粉料、金属丝箔及纳米材料,上千种材料的丰富供给,构建起行业的科研材料产品体系。需求全套解决方案为客户提供产品的成套解决方案,全工艺链的产品以及非标定制方案,努力为客户提供一站购齐式服务。另外还为客户提供实验室解决方案,帮助客户制定实验室规划,与辅助设备建议。应用技术实验室安徽省级企业技术中心,是一个集材料制备、样品检测及技术服务于一体的多功能共享实验室,客户可以使用科晶实验室进行材料制备及检测、工艺探索和应用技术交流,同时实验室团队可以为客户提供工艺培训,实习,实验代加工,联合项目等多种服务项目。售后维修从产品支持到售后保障,科晶公司专业的售后服务团队全年不间断的为客户提供线上,线下维修服务,全面保证客户设备的正常使用,做到购买产品,终身维护。实验安全科晶重视客户的实验安全,针对一线设备使用的科研人员,提供全公益性质的线上或线下,标准或定制的设备与药品技术支持与培训,以及针对性的安全相关设备开发。
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