1、机台采用进口劳士领板材，长期可工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防漏 。
2、全自动/手动设计，炉管自动旋转，尾部带冲洗功能。
3、酸液可回收重复利用，可洗炉管尺寸到半导体4"~12"或其它更大尺寸。
4、控制部分采用进口品牌PLC 和HMI，所有可能与酸雾接触的电气及线路均经PFA防腐隔绝处理，电气柜CDA/N2充气保护其中的电器控制元件。
5、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮各1只置于右侧。
6、设备设计标准按半导体行业标准（SEMI-S2-93）执行，ISO9001质量管理体系进行规范和保证。
山东联盛电子设备有限公司，成立于2014年5月，坐落于聊城市高唐经济开发区，是集半导体芯片湿制程专业的设备的生产、研发、销售、服务于一体的综合性高科技公司。公司已经和山东大学微电子学院清洗技术中心加强产学研合作，共同深度研发清洗技术。公司目前已申请国家30多项，其中发明6项，并建立了省级企业技术中心，市级企业，市级半导体设备研发中心，申请通过ISO9001质量体系认证，ISO14001质量环境体系认证，半导体SEMI-S2专业认证。涉及行业有半导体IC，MOS功率器件，MEMS, SOI, GaAs, GPP，SIC，CaN芯片，LED，光伏，半导体陶瓷基片，半导体玻璃基片等行业 。主要设备有：全自动RCA清洗机、全自动镀镍镀金清洗机、全自动扩散清洗机（磷扩，硼扩）、全自动沟槽蚀刻机、全自动二氧化硅蚀刻、炉管清洗机、CDS(SDS)系统，B Clean、Oxide Remove、 Nitride Remove、 PR Strip、lift off、 ParticleRemove、 Solvent Clean、Wafer Reclaim、 Metal Etch、M2 Clean。
炉管清洗机 产品信息
