1.1钛合金真空感应熔炼惰性气体雾化制粉装置
2．主要功能
2.1采用感应电极惰性气体雾化法制备钛合金球形微粉。尤其适用于稀土合金，易氧化或易与陶瓷坩埚发生反应的合金微粉制备。
2.2制备钛合金粉末的形状为球形、粒径尺寸可控（30~120ｕm）,—100目以内一次成粉率≥80%；
2.3制得的钛合金粉的增氧量：小于100ppm；
2.4感应熔炼氧化镁陶瓷坩埚（2--5公斤，以钢计算）惰性气体雾化制粉。
3. 钛合金真空感应熔炼惰性气体雾化制粉装置的主要技术规格
3.1 真空获得测量及充气系统：
A.)采用扩散泵+罗茨泵+机械泵三级泵抽系统，真空测量采用数显复合真空计；
B.)极限真空度：6.7×10-3Pa，抽真空达到极限真空度时间≤1H，压升率
<0.67Pa/H；
C.)熔炼真空室及雾化真空室各设有一个充气阀门，用于充大气；
D.)抽真空管路设有粉尘过滤器。真空管路材质：不锈钢；
3.2 感应电极熔炼及进料系统：
1).熔炼材料：钛合金电极尺寸：外径规格：30mm/50mm/100mm规格， 长度：200-500mm；
2).高频感应熔炼电源：100kw
3).熔炼真空室：采用双层水冷结构，材质：304不锈钢；内外电解抛光。
4).进料真空室:立式U型，前开门，材质：304不锈钢；内外电解抛光；
5).进料速度：0-100mm/min，连续可调，转速：0-100RPM，连续可调。
3.4 粉末收集系统：
① 一级收集采用旋风粉末收集系统；旋风收集真空室采用双层水冷结构，材质：304不锈钢。
② 旋风粉末收集系统下设有真空手套操作箱一套，箱内设有收粉罐；收粉罐内径：150mm；
③ 二级过滤收集系统一套：材质：304不锈钢；设有收粉罐及阀门等，收粉罐内径：100mm；
④ 尾排风机及尾排管路阀门一套。
3.5 电控系统：由继电控制系统及计算机控制系统组成
1).继电控制系统：通过按钮操作控制：真空泵，阀门，样品运动等
2).计算机控制系统：通过计算机控制：真空泵，阀门，样品运动等：数据采集储存；
3).设备设有安全报警及必要的联锁互锁保护功能
3.6 安全防护及防爆系统：
① 防爆系统：
设有膜片式防爆装置及气体过压安全阀各一套；
设有防静电连接设计；
② 其它防护：
水流继电保护系统：防止冷却水堵塞。
紧急情况按钮：出现异常情况下启动，用于切断感应电源，进给电源等。
3.7 工作台架，水冷循环系统及附件：
① 台架由碳钢组焊件组成，表面喷漆，设有楼梯及护栏；
② 设有不锈钢水箱，水泵及分水器，回流器及阀门水管；
3.8 微量氧浓度检测系统：一套：
① 高精度便携式微量氧分析仪一套（英国SYSTECH公司 ）型号：EC92DIS(0-200ppm)；S型，精度±2%；解析度：0.05%满量程；
② 阀门二只，压力表一只；
③ 高压管路全套。
