HVA 矩形阀 Load-lock 典型应用

HVA 矩形阀 Load-lock 典型应用
上海伯东某生产原生多晶矽料生产设备, 矽片加工设备, 晶体矽电池生产设备企业, 使用美国 HVA 矩形阀用于真空机台的 Load-lock工位, HVA 矩形阀安装在 2X18 英寸规格内的矽片生产线上, 起到辅助传递矽片, 隔离真空腔室的作用.

矽片比较薄, 一般可到200um, 还比较脆, 所以在传送过程中对震动比较敏感, 同时需要安装于设备上的矩形阀方便维护, 使用寿命长. 经过伯东推荐, 客户采购美国 HVA 88200 系列不锈钢矩形阀.

美国 HVA 矩形阀具有unique的密封系统, 可避免粉尘颗粒污染, 有效减少了维护次数. 外形尺寸小, 采用了**技术的驱动系统,运行时震动小. 很好的满足了客户的需求. 与友厂 VAT 真空阀门对比, HVA 真空阀门维护更简单, 无需将阀门从设备上移除, 常规保养直接更换密封圈即可.

HVA  矩形阀 88200 系列
> 1000000 次 启闭次数
高压不锈钢坯体加工阀门主体
矩形阀尺寸: 高≤6 " ID (DN150) / 宽≤78 " ID (DN2000)
不锈钢焊接波纹管
矩形阀 **传动轴设计, 振动小
可选择高达 200℃的高温型号
可定制, HVA 矩形阀适用于所有真空应用

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东邓女士，分机134