中图仪器SuperView三维图像尺寸测量仪集光学、机械、电子、计算机图像处理技术于一体，也叫白光干涉仪、光学3D表面轮廓仪。它克服了传统投影仪和二维影像测量的不足，是高精度、高可靠性的测量仪器。由光学放大系统对被测物体进行放大，经过CCD摄像系统采集影像特征并送入计算机后，可检测各种复杂精密零部件的轮廓和表面形状尺寸、角度及位置，全自动地进行微观检测与质量控制。可将测量数据导入AUTOCAD中，成为完整的工程图，生成DXF，IGS等格式的文档，也可输入到WORD、EXCEL及SPC统计分析软件中，生成CPK及各种统计报表。

产品参数

主要特点

1、全自动测量过程。批量的的产品数据可以通过一个按钮实现自动测量和自动输出结果，改变传统的依靠经验的手动测量方式，使自动测量的重复性控制在微米级，提高了检测水平，促进了制造品质的提高。

2、工件位置随意摆放，不需要找正。

3、拥有的冷光源系统，可以避免易变形的工件在测量时因热变形产生误差，以及由于触碰导致的变形问题。

4、装配有四种可调的光源系统，可以观测到工件轮廓，同时对于工件的表面形状和高低也可以实现精准测量。

5、不受工件表面纹理和材质影响的精密测量，可以实现真正的非接触式3d表面轮廓测量。具有高可靠性的测量准确性和重复性。

6、测量方便，如自动抓便、自动聚焦等功能减少了人为误差，测量软件具有操作便捷性和功能拓展性。

中图仪器SuperView三维图像尺寸测量仪让轮廓测量价格更为实惠，适用于各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、平面度、粗糙度、表面缺陷、磨损情况、孔隙间隙、台阶高度、腐蚀情况、波纹度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于如纳米材料、半导体等各类精密工件表面质量高要求领域中，可以说只有3d非接触式光学轮廓仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。

性能特征

1、高精度、高重复性

1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；

2）*的隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性。

2、一体化操作的测量分析软件

1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；

2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；

3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；

4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；

5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；

6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。

5、双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配*空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。

在3D测量领域，白光干涉仪是精度高的测量仪器，SuperView三维光学尺寸测量仪测量精度可以达到纳米级。其分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。