日立扫描电子显微镜SU1510型的主机宽度仅为55cm体型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。
一、日立扫描电子显微镜SU1510型的特点
1. 仪器主体比过去减小20%，可以更加自由地选择安装场地。
2. 标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3. 可载入直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行元素分析。
4. 强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作。
5. 分子泵真空系统，洁净无污染。
二、日立扫描电子显微镜SU1510型的技术规格
| 项目 | 内容 |
| 二次电子分辨率 | 3.0nm（高真空，30kV） |
| 背散射电子分辨率 | 4.0nm(低真空：6Pa，30kV） |
| 倍率 | 5～300,000倍 |
| 加速電圧 | 0.3～30 kV |
| 样品台 | X 0～80 mm
Y 0～40 mm
Z 5～50 mm
T -20°～ 90°
R 360° |
| 样品台控制 | 手动（可选：2轴马达） |
| 载入样品尺寸 | 直径：153 mm |
| 观察范围 | 直径：126 mm（XYR并用） |
| 样品高度 | 60 mm（WD=15 mm） |
| 低真空范围 | 6-270Pa(从菜单设定) |
| 灯丝 | 预对中钨灯丝 |
| 物镜光阑 | 4孔可变光阑 |
| 枪偏压 | 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压 |
| 检测器 | 二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器 |
| EDX分析位置 | WD=15,TOA=35° |
| 真空系统 | 分子泵1台，机械泵1台 |
| 安全措施 | 停电，漏电，自动保护 |
