「设备主要用途」
广泛用于制备难熔金属纳米粉体、氧化物、氮化物、碳化物等纳米粉体，及上述粉末球化
处理;
「技术指标」
①极限真空度：7.0x10-1Pa；
②达到极限真空时间：≤ 30 分钟
（从大气开始抽真空*限）。
③自动加料器进料速率；0.1Kg-0.7Kg/ 小时；连续可控；
④射频电源；2-3MHz，60KW（输出）
「设备构成」
由真空获得测量、气体循环系统、三路充气系统（带流量控制）、自动加料系统、射频电
源及射频等离子体发生器系统、粒径控制系统、三级旋风粉体收集系统、真空手套箱、自动控
制系统、冷却水循环及安全控制系统组成。
「应用实例」
①纯金属、稀有金属钨、钼等平均纳米直径20-75 纳米；
②金属化合物（氮化钛、碳化钨、氧化铝等）平均纳米直径20-100 纳米。